Konstruktion einer Si-Anodenhalbzelle. experimentelle Methode. Si-Waferproben mit nativer Siox-Oberflächenschicht wurden in dieser Studie verwendet. alle Siliziumelektroden (1 cm× 1-cm-Quadrate) wurden mit einem etablierten mehrstufigen Reinigungsprotokoll gereinigt, um Oberflächenverunreinigungen zu entfernen.33 Siliziumwafer (Czochralski-Prozess, Bor-dotiert auf 0.001− 0.005Ω cm, (100) Ausrichtung, 700μ m dick, gekauft von addison engineering) wurden als Anoden verwendet. sie wurden mit einem Laser auf eine Fläche von 1 geschnitten× 1 cm2 und erhielt dann eine RCA-Reinigung.33 die RCA-Reinigung wurde ohne HF-Säure-Ätzschritte abgeschlossen, um den ursprünglichen nativen Siox-Film zu erhalten.

Nach der Reinigung, wurden die Elektroden in einem Vakuumofen bei 100 getrocknet° C vor der Zellherstellung. die für diese Forschung ausgewählten Elektrolyte sind 1.2 mol/l Lipf6, gelöst in einer Lösung von Ethylencarbonat (ec):Ethylmethylcarbonat (EMC) mit einem Gewichtsverhältnis von 3:7, bzw.. alle si-Elektroden wurden als Arbeitselektroden in den Knopfzellen, verwendet, in denen Lithium verwendet wurde

Metall wurde als Gegenelektrode.in jeder Zelle, 4.3 verwendetμ L des Elektrolyten wurde verwendet; Glasmikrofaserfilter (Whatman, GE Healthcare Life Sciences) mit einer Dicke von 260μ m mit Celgard 2325 Separatoren wurden bei der Zellmontage verwendet. Knopfzellen, die die oben genannten Komponenten enthielten, wurden in einer ar-gefüllten Glovebox montiert., um die Zellen bei einem konstanten Innendruck zu halten, 0.5 mm dicke Edelstahl- Stahldistanzstücke und 0.3 mm dicke Edelstahlfedern wurden verwendet . an Knopfzellen-Crimper (xiamen tmaxcn inc.) wurde verwendet, um die Montage mit 4 s angelegtem Druck abzuschließen.